[本文]

国名:
オランダ
公開機関:
オランダ応用科学研究機構(TNO)
元記事公開日:
2013/07/11
抄訳記事公開日:
2013/07/31
元記事の言語:
英語

SEMATECHとTNOがパートナーシップを形成

Partnership SEMATECH and TNO in Measurement Standards for Semiconductor Component and Material Outgassing

本文:

オランダ応用科学研究機構(TNO)の2013年7月11日付のニュースで、標記の記事が掲載されている。以下にその概要をまとめる。
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SEMATECHとTNO(オランダ応用科学研究機構)が、半導体工具と半導体加工における気体放出率と、漏れ率のトレーサビリティを確実にするための測定基準の設定に向けて戦略的パートナーシップを形成した。

半導体メーカーは、構成部品と材料からの気体放出など、汚染の制御や監視に関する新たな問題に直面している。構成部品や材料からの気体放出により半導体工場に様々な汚染物質が混入し、多数のプロセスに影響を及ぼす恐れがある。今回のパートナーシップ形成の目的は、気体放出の測定データを比較・報告する際の業界の推奨基準として役立つような、機器測定に関する計測学的手順やガイドラインを策定することである。このプロジェクトでは、気体放出の計測や材料の適格性認定のための計測学的手順を規定し、その妥当性を確認し、ナノスケールでの欠陥性に対処できるようにする。

現在、各種の構成部品や材料については、気体放出に伴うナノスケールの汚染により工具の性能が制限されているが、こうした構成部品や材料の種類ごとの大きなギャップも明らかにされるであろう。

[JSTパリ事務所]