[本文]

国・地域名:
フランス
元記事の言語:
フランス語
公開機関:
原子力・代替エネルギー庁(CEA)
元記事公開日:
2013/09/05
抄訳記事公開日:
2013/10/17

マイクロエレクトロニクス: 我々の身近にある「MEMS」

Microélectronique : les MEMS sont parmi nous

本文:

原子力・代替エネルギー庁(CEA)の2013年9月5日標記報道の概要は以下のとおり。

電気機械マイクロシステム「MEMS」は1つまたは複数の機械素子を含む装置で、物理的変化を電気信号(センサー)に変換するか、またはその逆(作動装置)の変換を行う。大きさは約1平方ミリメートルで、1万分の1ミリメートル未満の機械素子で構成され、1個以上の可動または振動素子を備え、速度、方位、重量のごく僅かな変化を検知できる。

自動車システム、携帯電話、ゲーム機などに潜む「MEMS」は我々の日常生活の中に溢れた存在である。グルノーブルのCEA-Letiの研究者らは30年前から産業界と提携してこの装置の研究開発に没頭している。現在約150名の研究者がこの技術に携わっている。これによりCEA-Letiはマイクロシステムの開発では世界レベルで最も重要な研究室となっている。

最近のイノベーションとして「M&NEMS」と称する「MEMS」センサーの新技術開発があり、これは従来の「MEMS」の構成部品を機械的なナノ構造と結合したものである。

[DW編集局+JSTパリ事務所]